会议地点：广州科学城
会议时间：2022年9月22-24日
广东省真空学会、广东省真空产业技术创新联盟主办，广州今泰科技股份有限公司承办的第六届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会学术年会定于2022年9月22-24日在广州科学城举办。同期举办“先进微纳制造技术与前沿应用高峰论坛”,设真空装备与工艺、光电薄膜材料与器件、硬质涂层与表面工程、微纳制造（集成电路）专场。特邀十多位国内外著名专家和行业龙头企业做犬会报告，交流真空技术在电子信息、半导体器件、新能源开发、工模具涂层、微纳制造领域的最新应用进展。会议得到广东省“岭南科学论坛”项目、广州市“国际学术会议之都”项目的立项资助以及多个科技集团的大力支持，热忱欢迎各位理事、会员、团体会员单位的代表以及省内外从事真空领域教学、科研、开发、生产的专家、学者、工程技术人员参加本次大会。
会议通知链接：//cbimg.cnki.net/Editor/2022/0421/zkdw/62809d0f-b037-489b-bfc0-0b16be9b2afc.pdf