真空技术

  • PVD镀膜设备阴极系统均匀布气结构的仿真与实验优化

    蒋钊;马占吉;张延帅;

    为了解决工业化PVD镀膜刀具批量生产中因气体分布不均导致的膜层外观色差问题,论文以单管喷嘴型布气管路为研究对象,开展了阴极系统均匀布气结构的设计与实验研究。通过建立三维流体仿真模型,分析了孔距相等与孔距渐变两种布气方式对气体流场分布的影响,并针对孔口束流效应优化了布气结构,使气体出口向下,以增强扩散混合。仿真结果表明,采用等差数列递减的孔距布置可使不同气孔中的气体流速偏差控制在5%以内,改善了气流分布的均匀性。在LIP1400型多弧离子镀设备中进行了TiCN薄膜沉积实验,EDS成分分析显示,采用孔距渐变布气结构后,上、中、下位置刀具试件膜层中C元素含量偏差小于10%,外观颜色由原来的黄褐-玫瑰金-浅黄梯度分布改善为均匀一致的玫瑰金色。研究表明,基于流场仿真优化的渐变孔距布气结构可有效提升PVD镀膜设备轴向沉积的均匀性,方法简便,适于工业化推广。

    2026年02期 v.32;No.201 123-128页 [查看摘要][在线阅读][下载 1118K]
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  • 热阴极脉冲电子枪设计与性能仿真

    史心怡;张虎忠;李得天;李兴达;习振华;李刚;康伟东;

    利用电子束流对高速定向稀薄气体束流的碰撞电离需要在极短时间内产生离子束流,从而收集到较窄的离子脉冲信号。传统热阴极固有的热响应时间限制了电子发射精度,为此,论文设计并仿真了一种能够产生具有指定能量的高脉冲电子束流的热阴极脉冲电子枪,通过从阴极表面提前引出一定数量的热电子,使其能够实现纳秒级脉冲电子束流控制,克服了阴极热响应产生的时间延迟影响,保障了对稀薄气体分子的高效电离。该电子枪由热阴极、反射罩、加速栅极、聚焦极与接地屏蔽罩等部件构成,同时根据使用需求设计了匹配的移动机构,在使用时调节电子束流与需要电离的分子束流的距离,以优化电离效率。仿真表明,该热阴极脉冲电子枪能够在40 ns的脉冲电压周期内产生约70 eV的脉冲电子束流,电子发射效率达13.58%,验证了其用于高速定向稀薄气体束流碰撞电离的有效性,为后续实验研究与应用提供了理论与数据基础。

    2026年02期 v.32;No.201 129-138页 [查看摘要][在线阅读][下载 1371K]
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  • 电推进系统压力传感器干扰分析及抑制方法研究

    席竹君;吴越媛;杭观荣;

    电推进作为空间先进动力系统,通过电离并加速工质气体产生推力,而工质气体的精确稳定供给是保证电推力器性能稳定达标的重要因素之一。其中压力作为电推进工质流率控制的重要参数,需要较高的稳定性和精度,而来自系统工作产生的共模干扰会影响压力传感器工作性能。论文分析了电推进系统对压力传感器共模干扰的原因和途径,研究了干扰机理,提出了在电源控制单元输入侧、压力传感器输入侧与机壳之间加入共模电容,以及在压力传感器差分信号采集正负接入电容的干扰抑制方法,解决了压力传感器受干扰问题。研究发现当接入的共模电容分别为0.01μF和22μF时,三个相同的压力传感器最大差值为0.001 49 MPa。表明该方法对电推进系统压力传感器抗干扰抑制效果良好,并应用于相关产品。

    2026年02期 v.32;No.201 139-145页 [查看摘要][在线阅读][下载 1654K]
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  • 基于响应面法的超导磁体用真空容器壁厚优化

    白煦延;汪逸超;崔云飞;李鑫;高鹏;

    真空容器是保障超导磁体在低温环境下稳定运行的关键部件,较高的真空度能够显著降低冷却磁体所需的制冷功率,减少系统漏热,从而维持磁体在极低温环境下的热稳定性。区别于传统的真空容器结构,面向磁镜场型超导磁体应用的真空容器还包含用于等离子体观测的径向室温孔以及安装制冷机用的阀箱,其壁厚设计直接影响容器的安全性、经济性与整体性能。该论文通过ANSYS Workbench静态结构模块中的线性化应力分析功能,结合Design Expert软件中的Box-Behnken实验设计方法,对现有真空容器壁厚进行了初步设计与应力分析,并采用响应面分析法开展多目标优化设计,以获取容器壁厚的最优配置方案。优化后的真空容器薄膜应力水平降低了40.8%,整体质量减轻了5.05%。本研究可为同类真空容器壁厚的结构设计与优化提供可靠的理论依据与有效的设计方法。

    2026年02期 v.32;No.201 146-152页 [查看摘要][在线阅读][下载 1536K]
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  • 双腔或多腔体封装器件的密封检测

    肖汉武;陈婷;

    由于双腔或多腔体封装器件的各个内空腔容积不尽相同,采用传统的氦质谱细检漏法进行密封试验时,如果选择的固定方法试验条件不恰当,存在个别腔体因漏率判据偏松风险,有可能导致漏检。论文从多腔体封装的漏率判据选择、加压条件选择等方面进行了讨论,并提出了相应的解决方案,同时对腔体泄漏定位方法进行了讨论。

    2026年02期 v.32;No.201 153-160页 [查看摘要][在线阅读][下载 1008K]
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低温技术

  • 磁补偿模拟低重力场下液氧气泡非等温运动特性的实验研究

    徐然;俞凌筠;肖明堃;曹庆泰;吴静怡;杨光;

    微重力环境下低温推进剂的气液分离效率制约其稳定输送。受实验条件限制,相关低温微重力实验数据仍然匮乏,非等温条件下的气液界面演化机理尚缺乏系统认识。针对上述问题,论文以液氧为研究对象,基于磁重力补偿原理,在地面构建了一套重力水平连续可调的液氧气液分离实验平台。通过使用金属筛网分离构件,系统研究了不同等效重力条件和入口温度下液氧中气泡的动力学行为及其气液分离性能。结合高速成像与同步参数测量,揭示了气液界面在筛网约束下的动态演化过程,重点分析了入口温度变化对气泡形态特征及临界泡破压力的影响规律。结果表明,入口温度与重力水平对气泡形态具有显著耦合作用;在气液分离性能方面,随着入口温度升高,金属筛网的临界泡破压力呈现明显下降趋势。在常重力条件下,入口温度为96 K时临界泡破压力为0.042 MPa,而当入口温度升高至102 K时,该压力降低至约0.011 MPa。上述研究为揭示微/低重力条件下低温推进剂气液分离机理提供了实验依据。

    2026年02期 v.32;No.201 161-168页 [查看摘要][在线阅读][下载 1669K]
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  • 稀释式制冷氦离心压缩机叶轮设计与模拟分析

    郝昭璋;柯长磊;熊联友;刘弘民;彭楠;左建生;李空荣;张晓华;刘立强;

    氦气在干式稀释制冷机中的循环效率,是决定系统制冷功率与整体效能的关键。传统系统多采用涡轮分子泵进行氦气的预压缩,然而,此类泵不仅对高真空环境有严苛要求、质量流量有限,且其设计并未针对低温工况进行优化。随着对更大制冷量的需求日益迫切,现有技术已逐渐出现瓶颈。论文探讨了离心式压缩机作为实现更大流量氦循环替代方案的可行性。通过对氦气离心式冷压缩机的叶轮进行专门设计与流体力学仿真,初步验证了此技术应用于稀释制冷机循环中的潜力与优势。离心式压缩机有望克服传统方案的限制,为开发下一代大冷量稀释制冷机提供一条可行的技术路径。

    2026年02期 v.32;No.201 169-174页 [查看摘要][在线阅读][下载 1600K]
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  • 液氢贮箱加注-保持-排气式预冷特性及影响因素研究

    张荣达;马原;王云龙;王康;厉彦忠;

    为研究微重力条件下低温推进剂贮箱的加注-保持-排气式(CHV)预冷特性,选择液氢贮箱作为对象,建立CHV预冷全过程热平衡数值模型,计算并分析预冷过程温度、压力及沸腾传热特性,研究加注质量流速、排气目标压力及气壁温差最小限值对预冷性能的影响规律。结果表明:CHV预冷前期对低温流体冷却能力利用不足,更易引发超压风险;CHV预冷周期内加注、保持和排气阶段壁面降温速率逐渐减小;液壁间沸腾传热集中发生于加注阶段,该阶段预冷全程以膜沸腾传热为主,平均时间占比达91%;适当增加加注质量流速和气壁温差限值可有效改善CHV预冷性能,其中质量流速从0.01 kg/s提高至0.05 kg/s时,壁面降温速率提升4.9倍,预冷消耗时长降低6.9%,气壁温差限值从5 K增加至20 K时,预冷消耗时长降低38%,消耗质量仅增加10%。

    2026年02期 v.32;No.201 175-182页 [查看摘要][在线阅读][下载 1109K]
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  • 空间光学载荷CCD组件辐射制冷精密温控设计及验证

    桂利佳;李言青;徐文杰;李叶飞;石恩涛;

    针对臭氧总量探测仪中使用的大阵面CCD探测器,在无TEC制冷模块的情况下,提出了一种基于辐射制冷的精密控温设计。考虑到探测仪在卫星上的特定布局和结构特性,为CCD组件设计了专用的面积0.36 m~2的散热板,布局于星体载荷舱+Y侧桁架上,作为CCD芯片的专用散热面。通过采用柔性石墨膜和热管结合的技术,建立了可靠的传热路径,确保了CCD芯片的低温高稳定性运行。为最大限度减少寄生漏热,在散热路径沿途关键界面处采用了聚酰亚胺隔热垫进行隔热设计,并对各界面当量热阻进行了详细计算和优化。在CCD热沉部分,设计了多路小功率加热器(每路2.5 W,每通道两主一备),并结合了精密的PID控温策略,以实现mK量级的精密温度控制。热仿真结果表明,两个探测通道的CCD芯片温度能稳定控制在-33℃,且温度稳定性优于±0.03℃,满足了指标要求;在轨遥测结果与热仿真结果一致性良好,证实了热设计的有效性和准确性。该论文的热设计方法对于类似CCD组件的热控设计具有重要的参考和借鉴价值。

    2026年02期 v.32;No.201 183-189页 [查看摘要][在线阅读][下载 1235K]
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  • 微重力下低温贮箱热力学排气系统参数分析及性能优化

    姚磊;康馨月;闫春杰;王琎;杨鹏;

    为解决空间低温推进剂贮箱在微重力下的压力控制问题,实现低温推进剂的长期在轨运行,论文建立了液氢贮箱自增压和热力学排气系统模型。研究了外界漏热作用下贮箱内的自增压过程,揭示了热分层现象的形成机理。结合正交试验和FLUENT模拟,设计了16种不同参数组合工况,详细分析了循环泵流量、排气率、喷嘴尺寸和节流阀背压对降压过程的影响,并量化了各参数的影响权重,以最小排气损失为目标,开展了参数优化设计。结果表明:流量越大,平均压降时间越短;在流量相同的情况下,排气率越高,主流流体入口温度越低,压力下降更快;在相同的排气量下,当喷嘴尺寸较小时,进气速度较快,降压时间越短。对排气量而言,参数重要性排序为:排气率>循环泵流量>喷嘴尺寸>节流阀背压。由均值主效应图得到了各参数的最佳取值,循环泵流量为0.04 kg·s~(-1)、节流阀背压为10 kPa、排气率为1%、喷嘴直径为0.005 m。本研究为TVS系统设计与控制提供了理论依据,后续可开展实验验证与动态工况适用性研究。

    2026年02期 v.32;No.201 190-198页 [查看摘要][在线阅读][下载 1608K]
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  • 基于振动声学特征的红外探测器用斯特林制冷机CBM故障诊断方法研究

    张璐;申蕾;韩蓬磊;杨帅;

    红外探测器用斯特林制冷机运行声音具有特异性,此特异性可以直观表征制冷机的可靠性。声音由物体振动产生,通过对制冷机运行过程中的微振动输出值,即加速度特征值进行有效提取分析,便于开展制冷机早期CBM故障诊断。论文基于某型制冷机的微振动输出值特征,分析制冷机声音异常的诱发因素,从而确定微振动加速度值的采集方法,获取了健康状态的声音频谱特征。在本研究方法基础上开发了一套工程化的测试系统,后期通过大量的数据积累建立与故障模式相关的CBM诊断模型,起到对制冷机故障诊断、监测和预警的作用。

    2026年02期 v.32;No.201 199-204页 [查看摘要][在线阅读][下载 1167K]
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  • 正仲氢转化器双重介质渗流模型的IMPTECR算法

    薛璞;张启勇;刘世贸;刘志帆;

    为研究多孔介质中正仲氢催化转化过程的传热传质特性,基于双重介质模型分别构建颗粒孔隙与堆床空隙的质量守恒方程和能量守恒方程,将关键物理效应转化为控制方程组中的源项进行表征。针对该过程压力场、温度场、组分比例场不同的特征时间,仲氢(或正氢)组分比例场变化更为剧烈,控制方程中的非定常项易造成数值弥散或振荡。论文引入IMPES算法相似的隐式-显式分步求解思想,提出隐式压力及温度-显式组分比例(IMPTECR)算法,核心目的在于分离非定常项得到形式上类似于稳态问题的压力场和温度场控制方程,采用“压力场隐式求解-温度场隐式求解-组分比例场显式求解”的分步求解策略,再结合控制容积法对控制方程进行离散求解。数值算例表明,IMPTECR算法在绝热与等温工况下均表现出良好的收敛性和稳定性,可避免数值振荡与误差累积。基于Hutchinson等报道的正仲氢催化转化实验数据,对所建立的数值求解模型进行了验证,通过对比模型预测值与实验实测值,证实了该数值求解模型的准确性。研究为正仲氢转化器的数值模拟及优化设计提供了可靠算法。

    2026年02期 v.32;No.201 205-212页 [查看摘要][在线阅读][下载 1532K]
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  • 基于一体式柔性弹簧的制冷机隔振器性能研究

    王景杰;许国太;薛海亮;庄昌佩;杨宝山;何嘉华;于锟锟;杜海鹏;

    机械制冷机是提供空间红外载荷低温工作环境的关键设备,其运行过程中产生的振动是影响红外探测器正常工作的重要因素。为抑制制冷机振动传递,基于一体式柔性弹簧结构设计了一种被动隔振装置。以振动传递率为目标确定了系统的隔振参数,采用结构参数化有限元方法确定了隔振元件柔性弹簧的结构尺寸。实验结果表明,该装置在压缩机主频处x、y、z三方向均实现显著的振动抑制,压缩机轴向隔振效率达90%。

    2026年02期 v.32;No.201 213-219页 [查看摘要][在线阅读][下载 1608K]
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科技简讯

  • 基于GM制冷机的超大抽速低温泵研制成功

    张英明;闫格;张兆慧;刘伟成;王孟孟;

    <正>超大抽速内置式低温泵是受控核聚变装置中性束注入器真空度获得的重要部件,其对氢气的抽速可达每秒几十万升乃至数百万升。目前,超大抽速低温泵的冷却大多采用大型氦制冷系统,利用液氦或低温气氦为低温泵提供冷量。但大型氦制冷系统复杂,建设和维护成本高,占地面积大。近年来,随着液氦温区小型GM制冷机的发展日臻成熟,冷量不断增大,GM制冷机应用于超大抽速内置式低温泵成为可能。近期,兰州空间技术物理研究所所属的兰州真空设备有限责任公司为用户研制完成了一种基于GM制冷机的内置式超大抽速低温泵。

    2026年02期 v.32;No.201 220-221页 [查看摘要][在线阅读][下载 1207K]
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  • 氢合科技(广州)有限公司研制成功5 W@4.2 K双级G-M制冷机

    杜希阳;梁志炜;冯耀荣;

    <正>近日,氢合科技(广州)有限公司成功研制成功HE-450D型大冷量双级G-M制冷机,该产品在二级制冷温度为4.2 K时获得5.0 W制冷量,一级制冷温度为45 K时制冷量达到60 W,从300 K至4 K降温时间小于60 min,二级最低制冷温度可达到2.8 K,性能指标达到国际先进水平。制冷机冷头外形如图1所示。液氦温区大冷量G-M制冷机是大型超导磁体、极低温探测器等高端装备的关键核心设备。

    2026年02期 v.32;No.201 222页 [查看摘要][在线阅读][下载 746K]
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空间电推进连载

  • 空间电推进技术概览——新型电推进(上)

    张天平;陈娟娟;张雪儿;

    在一百多年的发展历程中,种类繁多的各种空间电推进技术不断涌现。为了更好地展现空间电推进技术发展全貌,基于历届国际电推进会议(IEPC)论文及其他相关文献,全面梳理了迄今为止出现的各种空间电推进技术,按照经典电推进、演化电推进、新型电推进和非传统电推进等四种类别,分别从工作原理、历史渊源和发展现状等方面对88种电推进技术进行了简要介绍,包括经典电推进12种,演化电推进40种,新型电推进26种,非传统电推进10种。

    2026年02期 v.32;No.201 223-232页 [查看摘要][在线阅读][下载 1785K]
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信息

  • 2025年《真空与低温》优秀科技论文评选结果

    <正>根据《真空与低温》优秀科技论文表彰办法的规定,成立了以编委会主任为组长的2025年度《真空与低温》优秀科技论文评选专家组。编辑部综合考虑论文的科学性、创新性、实用性和可读性等方面情况,结合论文的引用量、阅读量、下载量等因素,并参考审稿专家对论文的评价,向评选专家组推荐了《真空与低温》2025年候选优秀科技论文34篇。专家按照选题的重要性(20)、科学创新性(30)、影响作用(30)、写作质量规范性(20)四个方面进行定量打分。再对34篇候选论文根据评选专家的打分排名,取前15名。

    2026年02期 v.32;No.201 233页 [查看摘要][在线阅读][下载 421K]
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