真空技术

  • 原子层沉积氢掺杂氧化铟(InOx:H)薄膜的制备与性能研究

    徐梁格;渠怀志;滕祥青;杨磊;张善勇;朱嘉琦;

    红外透明导电材料能够同时具备优异的红外透过率与良好的电学性能,通过调控薄膜中的载流子迁移率与载流子浓度,可以兼顾良好的电学性能与高红外透过率。通过对沉积工艺参数的优化,系统分析了InO_x:H薄膜的生长速率、微观结构以及光电性能。当沉积温度为100℃时,由于反应不完全,薄膜生长速率较慢并呈现无定形结构;此时载流子迁移率仅为30.18 cm~2/(V·s),但在波长4μm处的透过率可达80%。随着沉积温度升高,生长速率逐渐稳定于约0.1 nm/周期,薄膜由非晶态转变为结晶态,载流子迁移率显著提升,最高达到64.05 cm2/(V·s),同时载流子浓度相应降低。此外,研究发现InCp/(O_2+H_2O)的脉冲时间比例及InCp脉冲时间对薄膜电学与光学特性的影响相对有限。继续增加沉积周期数后,载流子迁移率可突破80 cm~2/(V·s),然而此时光学性能显著下降,4μm处的透过率为39.5%。

    2025年02期 v.31;No.195 133-139页 [查看摘要][在线阅读][下载 1290K]
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  • 高功率MPCVD谐振腔体的优化设计和数值模拟

    高子博;戚俊成;马博翔;孙馨月;程秀云;张惠芳;

    微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置能够非常高效地产出高质量的金刚石薄膜,由于波长和腔体结构的限制,传统2.45 GHz MPCVD装置所沉积出的薄膜面积直径通常维持在50~70 mm之间。以增大金刚石膜沉积面积为目标,通过对微波电场进行仿真分析,优化设计腔体尺寸,并对电子密度和温度的分布特性进行数值模拟,以保证等离子体能够均匀分布于沉积片上,将沉积直径扩增至90 mm。模拟结果表明,当腔内微波源功率为6 000 W,压力为14.7 kPa时,沉积片上可以产生电子密度和温度分别为1.76×1018 m-3和4.7×104 K的高密度且均匀的等离子体。

    2025年02期 v.31;No.195 140-147页 [查看摘要][在线阅读][下载 1171K]
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  • 电子轰击离子源离子聚焦性能仿真研究

    李冠华;冯焱;成永军;孙雯君;陈联;冯天佑;王星辉;杨喆;

    针对兰州空间技术物理研究所自研小型四极质谱计的电子轰击离子源(EI源),对其聚焦性能进行了仿真研究。利用仿真软件Simion8.0,采用控制变量法研究了EI源聚焦极电参数、极板间距离、极板孔径大小对离子聚焦性能的影响。结果表明:聚焦极电压与电离室电压压差越大,聚焦性能越好,当聚焦极电压增大且逐渐接近电离室电压时,其聚焦性能会快速变差;同时增大各极板间距时,离子聚焦性能先变好后变差,最佳聚焦性能出现在电离室下极板和聚焦极以及聚焦极和引出极的间距都为1.25 mm时;减小电离室下极板孔径以及引出极极板孔径时,聚焦性能会显著变好,但传输效率会明显降低,当电离室下极板和引出极极板孔径不变时,改变聚焦极极板孔径,其聚焦性能随着聚焦极极板孔径变小而变好,当聚焦极孔径为1.6 mm或2.0 mm时聚焦性能最佳。以上仿真结果为EI源的工程化设计与优化提供了关键数据支撑。

    2025年02期 v.31;No.195 148-155页 [查看摘要][在线阅读][下载 1045K]
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  • 低温下ITO薄膜的制备及其性能研究

    葛新明;赵栋才;郭东龙;杨英;郑军;

    为了研究低温下氧流量对ITO薄膜光电性能的影响,在-15℃下,利用直流磁控溅射技术在石英玻璃上制备了ITO薄膜。结果表明,氧气流量从10 mL/min增加到30 mL/min,会促进O元素与In原子和Sn原子的结合,使氧空位状态的氧和其他状态的氧的比值从0.82降低至0.69, SnO_2:SnO的比值从0.52增加到3.33,In_2O_3:In:2O_(3-x)的比值从0.25增加到0.82。同时Sn原子的含量也从3.13%减小至2.87%,薄膜中载流子浓度从253.1×10~(18) cm~(-3)减小至98.9×10~(18) cm~(-3),载流子的迁移率从4.9 cm~2·V~(-1)·s~(-1)增大至35.98 cm~2·V~(-1)·s~(-1),使薄膜的电阻率由50.0×10~(-4)?·cm降低到17.5×10~(-4)?·cm。可见光区的平均透过率从42.06%增加到82.92%,提高了薄膜的导电性能和透光性能。

    2025年02期 v.31;No.195 156-164页 [查看摘要][在线阅读][下载 1300K]
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  • 基于蒙特卡罗方法的HL-3装置中性束中性化送气优化研究

    杨宪福;余珮炫;周博文;周红霞;

    在磁约束聚变中性束加热系统的中性化器中,足够的气体靶才能使离子束实现最佳中性化效率,同时这些气体作为注入器真空室的气体负载,希望越少越好。为了优化最佳气体靶厚所需的气体流量,根据中性化器中气体流态特性,采用基于试验粒子蒙特卡洛方法的模拟程序对中性化器气体分子分布进行模拟,该模拟程序研究分子与器壁碰撞反应的发射角度和飞行速度两个变量对分子密度的影响,得到中性化送气的优化方案。研究结果表明,中性化送气角度会影响气体靶厚,送气角度与束流夹角150°为最优;中性化器壁温度也会影响气体靶厚,相同气体流量在更低的温度下能得到更大的气体靶厚;气体温度还会导致建立最佳气体靶厚的时间发生变化,温度越低,耗费的时间则越长。研究结果为中性化器结构的优化设计和实验控制提供了理论依据和数据支撑。

    2025年02期 v.31;No.195 165-170页 [查看摘要][在线阅读][下载 1093K]
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  • 甲基氯化铵提高宽带隙钙钛矿太阳电池性能的研究

    孙祺;赵颖;李博研;孙瑶;黄星烨;林舒平;赵笑昆;钟大龙;

    研究甲基氯化铵(MACl)添加量对反式宽带隙钙钛矿薄膜及电池性能的影响。通过SEM、AFM、XRD、TRPL等研究发现,MACl能够改变钙钛矿薄膜晶粒尺寸和薄膜表面的粗糙度,钙钛矿薄膜结晶状态会受到MACl浓度的显著影响,不足或过量均不利于钙钛矿薄膜结晶生长。通过精确调控MACl添加量,可以有效提升钙钛矿薄膜载流子寿命和电池器件的电学性能。经过优化后的反式宽带隙钙钛矿电池效率为18.45%,各项电学性能指标均有明显提升。上述结果表明,MACl是一种促进高质量钙钛矿成膜和实现高性能器件的添加剂材料,在实际应用中具有巨大潜力。

    2025年02期 v.31;No.195 171-176页 [查看摘要][在线阅读][下载 1136K]
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空间应用

  • 相邻栅孔不同直径作用下的等离子体动态行为和自洽电势演化研究

    陈娟娟;王江伟;谷增杰;耿海;贾艳辉;胡竞;徐金灵;

    离子推力器具有比冲高、寿命长、推力连续可调等显著技术优势,已成为了卫星位置保持和轨道转移的最佳动力选择。但推力小的特点使得卫星要求推力器在轨工作几千甚至上万小时。变孔径栅极是一种新型的栅极组件,它是通过减小屏栅孔直径,降低栅极中心区域的束流离子密度,提高束流平直度,从而达到延长推力器工作寿命的目的。本文构建了两个相邻的栅孔不同直径下的栅极组件数值仿真计算模型,采用仿真手段模拟了两个栅极孔同时引出束流时孔内的电势分布和束流离子密度分布,旨在获得变孔径栅极对束流离子聚焦特性和电场畸变的影响。研究结果表明,变孔径栅极组件因分区耦合区间的上游等离子体密度相同,屏栅孔直径的大小不会影响栅极组件内的电势分布和束流离子聚焦行为。但是,屏栅孔直径的大小会直接影响栅极组件的性能和工作寿命。栅极组件中心区域的屏栅孔直径减小5.2%将使推力器的平均引出束流下降2.7%、屏栅上游等离子体密度增大1.2%。屏栅孔直径从32.36增至34.26,将使CEX离子的密度从0.19增至0.22,增加13.6%,加速栅的最大溅射腐蚀深度增加11.1%。

    2025年02期 v.31;No.195 177-186页 [查看摘要][在线阅读][下载 1398K]
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  • 利用抽运-检测型铷原子磁力仪测量软磁样品的磁矩和磁特性曲线

    缪培贤;梁星;史彦超;蔡志伟;杜康;代虎;刘志栋;陈江;

    基于电磁学中磁偶极层和载流线圈在空间产生磁场的等价性原理,将软磁样品的磁矩等效为载流线圈的磁矩,提出基于位移法的磁矩测量理论,利用抽运-检测型铷原子磁力仪测量了载流线圈的磁矩和带状坡莫合金软磁样品的饱和剩余磁矩。依据软磁样品在铷泡位置产生的磁场与其磁矩呈正比关系,在恒温条件下利用软磁样品的饱和剩余磁矩值对其剩磁回线和低场部分的磁滞回线进行了标定。

    2025年02期 v.31;No.195 187-193页 [查看摘要][在线阅读][下载 1625K]
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  • 场反构型电磁推进器轴向稳态磁场的数值仿真研究

    陈强强;贾艳辉;孙新锋;吕方伟;王紫桐;郭伟龙;

    轴向稳态磁场作为场反构型电磁推进器的核心部分,其性能直接影响推进器的整体工作效率和性能。针对其在工程实验中工作效率较低和性能较差的情况,开展轴向稳态磁场分布优化研究。采用多物理场仿真软件自适应函数细化轴向稳态磁场区域网格法提高仿真精度,并开展了数值模拟,探究了轴向稳态磁场线圈不同结构对磁场分布的影响,并利用实验结果进行对比验证,为场反构型电磁推进器轴向稳态磁场的优化设计提供了理论依据。

    2025年02期 v.31;No.195 194-201页 [查看摘要][在线阅读][下载 1276K]
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低温技术

  • 实际气体效应在宽压力范围内液氦温区的回热式制冷规律研究

    葛立春;曹强;王苗苗;王智平;陈昱吉;王鹏程;王博;赵钦宇;甘智华;

    相关研究分析了实际气体效应对回热器的影响,并推导出了回热器COP(理论冷循环效率)的表达方式。此前研究大多限于1~2 MPa压力范围,缺乏在更高和更低压下COP的变化及损失情况。在拓宽的压力范围,计算了变压力下回热器的COP及rCOP(相对卡诺效率)。结果表明,冷端温度在5~25 K时,随着压力的降低,rCOP呈U形变化,例如在5 K时,当压力为2.5 MPa、1.0 MPa、0.01 MPa,rCOP分别为19.6%、15.32%、97.64%,rCOP取最小值时所对应的压力接近临界压力0.228 MPa(0.19~0.23 MPa)。在25 K之上,压力减小时,rCOP上升。例如热端温度固定在40 K,当冷端温度为20 K时,当压力为2.5 MPa、1.0 MPa、0.01 MPa,rCOP分别为65.7%、81.7%、99.4%。但5 K之下且压力较大时,规律相反。评估了低压带来的问题,如功率密度小、损失较大。压力较大时理论计算、REGEN模拟的rCOP都比较高。计算和模拟得到的r COP相比于实验数据更大,证明实际过程损失更大。

    2025年02期 v.31;No.195 202-207页 [查看摘要][在线阅读][下载 1092K]
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  • 用于飞行器电子设备散热的蒙皮换热器性能仿真分析

    杨祺;王雪松;刘轶鑫;张文瑞;冶文莲;

    蒙皮换热器利用外界大气作为热沉,以对流换热形式将飞行器内部电子设备产生的热量散发出去,可以有效降低飞行器能耗,减轻飞行器质量,是一种低耗能被动换热方式。以蒙皮换热器在某飞行器的应用为研究对象,通过进行三维建模与网格划分建立飞行器的流场计算模型,基于商用CFD软件ANSYS Fluent,对飞行器的外流场特性进行数值模拟,从而获得了飞行器外壁面的对流换热系数。建立蒙皮换热器的结构模型,分析计算了蒙皮换热器的换热性能。

    2025年02期 v.31;No.195 208-212页 [查看摘要][在线阅读][下载 1109K]
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  • 基于多模块耦合液氧流量全自动调节方法研究

    王菲;相有桓;刘轶;汪彬;刘成河;

    针对液氧加注系统流量调节多因素联动、非线性、滞后量大的调控难点,提出了基于多模块耦合的液氧加注流量调节算法(Based on Multi-Module Coupled Flow Control Algorithm,BMMCA),该算法将贮罐压力自动调节、节流流量调节、目标压力自适应调节等多模块耦合,实现了液氧加注过程中流量自适应精确调节。试验结果表明,基于BMMCA算法进行液氧加注流量调节响应速度快,过渡过程短,具有良好的目标值跟踪特性,实现了在不同加注阶段智能调节流量的目的,能够更好地满足液氧加注需求。为液氧全流程自动加注提供了技术支撑,为智慧发射场全控地面设备提供了有力保障。

    2025年02期 v.31;No.195 213-220页 [查看摘要][在线阅读][下载 1275K]
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  • 超导电动悬浮磁体固氮低温系统温度特性研究

    王洛远;刘士苋;王磊;冯志超;王晖;张梦华;

    超导电动悬浮是高温超导磁体的重要工程应用之一。降温时间、离线时间和再降温时间是超导电动磁体固氮低温系统的关键指标。详细描述了固氮低温系统组成及运行过程。对系统漏热进行了理论分析,建立了固氮低温系统的瞬态热分析模型,该模型能够计算系统降温过程、离线运行过程以及再降温过程的温度分布。开展了系统降温过程、离线运行过程和再降温过程的温度变化仿真计算。仿真结果表明磁体温度降至30 K以下,系统在不超过40 K的情况下可以离线运行2 h。基于模型计算结果对系统进行优化,所建立的模型可为固氮低温系统的设计与优化提供参考和指导。

    2025年02期 v.31;No.195 221-228页 [查看摘要][在线阅读][下载 1147K]
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  • 大型液氢球罐分级预冷过程数值模拟研究

    金树峰;张智贤;王静泊;马梓阳;王波;

    大型液氢球罐在投入使用时需要进行罐体预冷以避免因热应力过大而破坏球罐。预冷过程会消耗大量冷量,因此采用合理的预冷方法十分重要。以2 000 m~3液氢球罐为研究对象,建立三维数值模型,采用液氮/液氢分级预冷法,通过数值模拟分析了入口流量和预冷介质对球罐预冷过程中温降速率和罐内物理场变化的影响。结果表明:不同入口流量下的温降速率变化趋势一致,均在预冷的第2 h达到峰值后衰减。采用小入口流量作为初始预冷流量,分时段调节入口流量使温降速率保持3~3.5 K/h时,完成预冷所消耗的介质更少且预冷更均匀。液氮预冷前中期,罐壁温度最高点和最低点出现在球罐侧上方和侧下方;液氮预冷后期及整个液氢预冷阶段,罐壁温度最高点和最低点出现在球罐顶部和底部。受壁面温度场影响,预冷过程中最大热应力出现在球罐的顶部及右上方,建议重点监测此区域的应力情况。在预冷后期,罐内流场存在多个流动缓慢的小涡旋,罐内整体温降速率基本不变。

    2025年02期 v.31;No.195 229-238页 [查看摘要][在线阅读][下载 1288K]
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  • HOT器件用旋转式斯特林制冷机数值模拟及实验研究

    耿利红;饶启超;段燕波;刘湘德;迟国春;

    HOT(High Operation Temperature)红外探测器成为第三代红外探测器技术的重要发展方向,针对HOT红外探测器用微型斯特林制冷机的应用需求,对HOT器件用旋转整体式斯特林制冷机进行了数值模拟和实验研究,研究结果表明:在所研究结构参数和运行参数范围内,随着回热器丝网目数的增加,制冷机的制冷量增大,制冷机的热力学效率先增大后减小;存在最优回热器长度、回热器单位冷端质量流量的气体流通面积、密封间隙、运行频率和充气压力使制冷机的热力学效率最大;当压缩活塞与气缸的间隙大于7μm时,制冷机的制冷量和热力学效率急剧减小,而当排出器与冷指的间隙为80~90μm时,制冷机性能达到最优;加工并装配的制冷机样机降温时间为2.73 min@150 K@23℃,制冷机降温过程中最大功耗为14.4 W,稳态功耗为4.8 W@150 K@23℃,制冷量为0.65 W@150 K@23℃。

    2025年02期 v.31;No.195 239-247页 [查看摘要][在线阅读][下载 2159K]
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空间电推进连载

  • 离子电推进发展历史回顾与启示(中)

    张天平;陈娟娟;张雪儿;

    离子电推进是空间电推进中最具代表性的技术之一,追溯离子电推进从概念到工程应用的历史过程,能够为洞见离子电推进技术的未来发展提供有力依据。从早期孕育、初期发展、中期发展、当代发展和创新发展等五个方面,对世界各国离子电推进技术的发展历史进行了包括技术发展、产品研发、工程应用等内容的全面回顾。在此基础上,将离子电推进从初始概念到工程应用经历的漫长过程分为五个方面系统总结了离子电推进发展的成功经验和失败教训,从正确认识离子电推进等七个方面梳理了对离子电推进未来发展具有借鉴意义的启示。

    2025年02期 v.31;No.195 248-275页 [查看摘要][在线阅读][下载 1481K]
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信息

  • 新书推介:《螺杆真空泵理论与应用》

    编辑部;

    <正>2025年3月,由东北大学张世伟教授、张志军教授、安徽理工大学孙坤副教授合著的《螺杆真空泵理论与应用》正式出版。作者针对国内螺杆真空泵“理论分散、实践缺指导”的困境,梳理国内外研究成果及典型产品案例,结合多年科研与工程经验,撰写了国内首部螺杆真空泵领域的专著。

    2025年02期 v.31;No.195 275页 [查看摘要][在线阅读][下载 611K]
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  • 2024年《真空与低温》优秀科技论文评选结果

    <正>根据《真空与低温》优秀科技论文表彰办法的规定,成立了以编委会主任为组长的2024年度《真空与低温》优秀科技论文评选专家组。编辑部综合考虑论文的科学性、创新性、实用性和可读性等方面情况,结合论文的引用量、阅读量、下载量等因素,并参考审稿专家对论文的评价,向评选专家组推荐了《真空与低温》2024年候选优秀科技论文31篇。专家按照选题的重要性(20)、科学创新性(30)、影响作用(30)、写作质量规范性(20)四个方面进行定量打分。再对31篇候选论文根据评选专家的打分排名,取前15名。

    2025年02期 v.31;No.195 276页 [查看摘要][在线阅读][下载 227K]
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